第42章 土光刻机制成(1 / 2)

拆装的主力最终还是落到卓邵文身上。

沈永健自已手上功夫不如对方稳,包括曹文三在内的两位平日在车间的技术员也一样。

卓邵文这位副研究员的确不止理论扎实,动手能力也是一流。

只不过这种精密仪器,尤其是这年代的老式精密仪器,完好的拆卸都不容易。

直到下午三点左右,显微镜才拆得差不多。

“今天就到这儿吧,明早再继续。”

“沈工,不继续安装么?”

卓邵文眼下声音倒是洪亮,只是双眼红血丝愈加多,而且都隐隐开始外凸。

沈永健虽然心中对这项目挺上心,但还没想要逼得这么紧。

“算了,今天就先到这儿。”

“绍文同志,我知道你能继续坚持,只是接下来的组装任务会更加艰巨,需要绝对集中的注意力。”

“你先回去养足精神,今天就先到这里。”

眼见沈永健态度坚决,卓邵文虽然心痒却也不好坚持。

直至车间的大门锁上,也只得回去休息。

曹文三和曲崇二人同样听他安排,安心早下班回去。

第二日一早,三人再度回车间后,状态立刻不一样了。

卓邵文脸色虽然憔悴,但双眼红血丝褪去大半,看着才正常得多。

至于曹文三两人年纪小,一夜睡足后精神头极佳。

开始正式组装起土法的“光刻机”。

这一过程,一连持续了三天。

事实上整个组装用了两天,最后一天全用来进行校准与调试。

也全靠了沈永健眼下极强的数学能力,哪怕拆装的动手能力不及卓邵文,但在设备的调校上,他对角度、距离、光路计算的精确把控,让这台“拼凑”出来的设备精度达到了理论设计的极限。

“这算成了吧!?沈工?”

随着卓邵文一声压抑着激动、带着微微颤抖的低呼,简易的紫外曝光灯亮起。

透过那精心倒置并调试过的显微镜物镜,在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。

沈永健此刻心情也不由得激动,点了点头回应道。

“成了,初步研制是够用了。”

身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”,虽然样子难看了些

整台机器零件颜色各异,但用是足够用了。

哪怕只是极其初步的验证,也标志着这台光刻机核心部分已搭建完成,具备了进行光刻实验的基础能力!

曹文三和曲崇瞪大了眼睛,他二人当下也松了口气。

事实上,这次设备的制造他二人只是打打下手,更多的就是学习而已。

此刻看着那在紫光灯下显现的细微光斑,虽然不甚理解其全部意义,但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终于舒展的、带着成就感的笑意,让他们明白,这应当是件了不起的大事。

经过反复确认使用效果,目前精度暂时勉强够用。

沈永健长舒了口气,连日紧绷的神经稍缓,拍了拍一旁卓邵文的肩膀。

“邵文同志,辛苦了!这第一步,咱们算是迈出去了!”

“后续等真正的硅晶圆制成后,还有场硬仗要打。”

卓邵文用力点头,眼镜片后的目光依旧紧紧盯着那光斑,心中的激动难以言喻。

要知道这可是光刻机,哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自制光刻机,但在卓邵文的视角下,这就是真正的第一代。

“沈工,硅晶圆制成还得多久?”

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